現有加(jiā)熱電源(yuan)存在的(de)問題：

    盡(jìn)管我國(guo)晶體生(shēng)長設備(bei)的自動(dòng)化程度(du)有了很(hen)大提高(gāo)，但是在(zài)常規的(de)直拉法(fǎ)溫度控(kòng)制環節(jie)的設計(jì)上還存(cun)在以下(xia)問題：

    (1)加(jiā)熱電源(yuan)的智能(néng)化程度(dù)不高。純(chún)模拟電(diàn)路構成(chéng)，單閉環(huán)控制，自(zì)動化程(cheng)度偏低(dī)，功率的(de)調節常(cháng)滞後于(yu)系統對(dui)溫度的(de)實際要(yao)求。

    (2)溫度(du)需要手(shou)動調節(jie)。該設備(bèi)在運行(háng)過程當(dāng)中不能(neng)完全做(zuo)到無人(ren)值守，對(dui)于引徑(jìng)、放肩及(jí)熔料過(guò)程的溫(wen)度控制(zhi)還需要(yào)工作人(ren)員通過(guo)電源櫃(guì)的旋鈕(niu)手動調(diao)節輸出(chū)值，等徑(jìng)生長過(guo)程的實(shí)際控溫(wēn)精度與(yu)理論值(zhí)也有差(chà)距，參數(shù)的設置(zhì)、調節和(he)記錄均(jun)需要值(zhi)守人員(yuan)參與完(wán)成。

    單晶(jīng)爐改進(jìn)方案：

    裝(zhuang)置采用(yong)模塊化(huà)設計，微(wēi)機控制(zhi)，内置自(zi)适應能(néng)力較強(qiang)的模糊(hú)PID控制算(suàn)法，具有(you)控制參(cān)數自動(dòng)調節、顯(xian)示，可通(tong)過按鍵(jiàn)設定初(chu)值，系統(tǒng)異常可(kě)自動聲(sheng)光告警(jing)等新功(gong)能，即從(cóng)整體上(shang)提高溫(wen)控系統(tǒng)的智能(neng)化程度(dù)和控制(zhi)精度，加(jia)快參數(shu)調節的(de)響應速(su)度，使整(zhěng)個生産(chan)過程中(zhōng)爐溫的(de)變化能(neng)快速平(ping)滑地跟(gen)随工藝(yì)曲線變(bian)化，裝置(zhì)通用性(xing)強，操作(zuò)上更加(jia)簡單、可(kě)靠。

    單晶(jing)爐 主要(yào)技術指(zhǐ)标：

    單晶(jīng)爐加熱(rè)電源是(shi)一種大(dà)功率直(zhi)流電源(yuán)，要求輸(shū)出功率(lü)lOOkW，輸出電(dian)壓爲0-5V可(ke)調，輸出(chu)電流爲(wei)0-3000A；其輸出(chū)的能量(liàng)可直接(jiē)爲單晶(jing)爐内的(de)石墨加(jiā)熱器供(gòng)熱，加熱(re)溫度範(fàn)圍爲o～2000℃，控(kòng)溫精度(dù)要求達(dá)到±5℃；各種(zhong)信号可(ke)自動檢(jian)測、顯示(shì)，參數的(de)修改和(he)設定可(ke)通過按(an)鍵進行(hang)，以此來(lai)滿足單(dan)晶矽在(zai)生長階(jie)段對溫(wen)度的嚴(yan)格要求(qiu)。