單晶爐在運作(zuò)過程中因爲一(yi)直都會處于高(gao)溫的狀态下，對(dui)其他的零部件(jiàn)要求高且嚴格(ge)，因爲需要維持(chí)長時間的工作(zuò)，所以需要特别(bié)注意定期進行(háng)必要的維護保(bǎo)養。

1、坩埚驅動裝(zhuāng)置要求的運動(dòng)精度比較高，是(shì)設備的核心運(yun)動部件，應重點(diǎn)維護。坩埚軸是(shì)石墨坩埚的支(zhī)撐軸，應随時檢(jian)查其冷卻水的(de)情況，以免燒損(sǔn)。

坩埚驅動采用(yong)滾珠絲杠和直(zhi)線導軌結構，是(shì)坩埚驅動的關(guān)鍵部件，需保持(chi)清潔，嚴禁灰塵(chen)、雜物附着，并定(ding)期塗抹潤滑脂(zhi)。

2、籽晶旋轉及提(tí)升機構的維修(xiū)

籽晶旋轉及提(ti)升機構也是單(dān)晶爐的關鍵部(bù)件，該部件運行(háng)的好壞直接影(yǐng)響單晶的生長(zhǎng)。因此，也須重點(dian)維護。

卷輪箱是(shì)籽晶提升的核(he)心，卷輪箱内的(de)零件一般情況(kuàng)下不得随意拆(chai)除，必須拆除時(shi)，重新安裝時必(bi)須保證軟軸對(duì)中。軟軸鋼絲繩(shéng)在使用中不準(zhun)有死彎現象，并(bing)在每次開爐時(shí)檢查鋼絲繩是(shì)否燒損，如有燒(shao)損應及時修整(zheng)或更換新的鋼(gang)絲繩。

除了上面(miàn)的兩點之外，在(zai)每次開爐前應(yīng)檢查水路系統(tong)是否暢通，水溫(wen)檢測傳感器安(ān)裝是否正常。發(fā)現有結垢時應(ying)及時清理。在拉(la)晶過程中，若發(fa)現水壓報警或(huo)漏水時要及時(shí)采取措施。真空(kong)管道的過濾網(wǎng)每爐要清理一(yi)次，抽氣管道每(mei)20～30爐清理一次。

編(biān)輯GYN