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定向凝(níng)固提純技(ji)術在去除(chu)金屬雜質(zhi)的應用[2014/7/16]冶(yě)金法制備(bèi)多晶矽就(jiu)是定向凝(níng)固提純技(ji)術在去除(chú)金屬雜質(zhì)方面的典(dian)型應用,而(ér)定向凝固(gu)提純 技術(shu)也是冶金(jin)法提純矽(xi)材料的關(guān)鍵工藝。關(guān)于定向凝(ning)固技術制(zhì)備多晶矽(xi)技術,專家(jiā)學者做了(le)大量研究(jiū)工作,尤其(qí),近幾年國(guó)内高校昆(kūn)明理工大(dà)學、大連理(li)工大學、太(tai)原理工大(da)學等在定(ding)向凝固技(jì)術制備多(duo)晶矽方面(miàn)做了大量(liàng)實驗,得出(chu)很多有用(yòng)結論。 Morita等人(rén)提出,冶金(jīn)級矽中金(jin)屬雜質經(jīng)過2次定向(xiang)凝固提純(chun), 完全可以(yǐ)達到太陽(yáng)能級多晶(jing)矽要求[30]。Rannveig Kvande 等(děng)通過慢冷(lěng)和快冷快(kuài)速定向凝(níng)固對比實(shi)驗, 測量出(chu)碳的含量(liang)在2個試塊(kuai)中的含量(liang)分布基本(běn)一樣,慢冷(leng)的氧含量(liàng)比快冷高(gao)。Pires等利用電(diàn)子束熔煉(liàn)法, 獲得了(le)5N的太陽能(neng)級多晶矽(xi),得出了矽(xī)錠下部和(hé)邊緣雜質(zhi)的含量較(jiao)低,上部和(hé)中間雜質(zhi)含量較高(gāo)的結論。Chandra P Khattak 等(děng)利用真空(kōng)氧化和定(ding)向凝固2步(bù)工藝提純(chún)工業矽,結(jié)果表明,大(dà)部分的金(jīn)屬雜質含(han)量還是很(hen)高,雖然部(bù)分金屬雜(za)質去除效(xiao)果理想,但(dàn)還是達不(bu)到太陽能(néng)級多晶矽(xi)的要求。 昆(kūn)明理工大(dà)學的戴永(yǒng)年教授等(deng)人利用定(dìng)向凝固技(jì)術去除工(gong)業矽中的(de)雜質鋁,結(jie)果表明,定(dìng)向凝固提(ti)純法除鋁(lǚ)的去除率(lü)可達98.6%,這說(shuo)明定向凝(ning)固提純法(fǎ)去除鋁是(shi)可行的,但(dan)不能去除(chu)晶界處富(fu)集的鋁雜(za)質。吳亞萍(ping)等對真空(kong)感應熔煉(liàn)和定向凝(ning)固研究, 結(jie)果表明定(ding)向凝固提(tí)純 技術可(ke)以去除工(gōng)業矽中平(píng)衡系數小(xiǎo)于1 的金屬(shǔ)雜質,但對(dui)不同雜質(zhi)去除的程(cheng)度不同。Liu等(deng)通過研究(jiū)鐵随時間(jiān)和溫度變(bian)化的分布(bu)情況, 得出(chū)多晶矽鑄(zhù)錠中的碳(tàn)濃度以及(ji)碳化矽沉(chen)澱相的分(fen)布。
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