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高(gao)溫真空(kong)爐運用(yòng)在藍寶(bao)石結晶(jing)[2014/8/5]
高(gāo)溫真空(kōng)爐在現(xian)代工業(ye)中應用(yòng)于很多(duō)場合,如(rú)藍寶石(shi)晶體生(shēng)長爐、高(gāo)溫燒結(jie)爐等。藍(lan)寶石晶(jīng)體生長(zhang)爐通過(guò)對溫度(dù)的精确(què)控制來(lái)實現從(cóng)晶體化(huà)料、引晶(jīng)(或将籽(zǐ)晶熔化(huà)到合适(shì)的範圍(wei))、長晶、退(tuì)貨冷卻(que)的各個(gè)過程控(kong)制,晶體(ti)隻有按(an)合适的(de)冷卻速(sù)度進行(háng)冷卻結(jie)晶,才能(néng)長出高(gao)質量的(de)藍寶石(shi)晶體。高(gao)溫燒結(jie)爐要通(tōng)過對溫(wen)度的較(jiào)爲準确(què)的控制(zhì),才能燒(shāo)結出高(gāo)質量的(de)、穩定的(de)燒結産(chan)品。因此(cǐ),高溫真(zhēn)空爐的(de)爐溫測(cè)量、監控(kong)是控制(zhì)産品質(zhi)量的重(zhong)要手段(duan)。而在自(zì)動化生(shēng)産的情(qíng)況下,且(qiě)溫度的(de)控制精(jīng)确度要(yao)求較高(gāo)時,則要(yào)求能對(duì)溫度進(jin)行長時(shí)間連續(xu)準确的(de)測量,以(yi)實現對(dui)溫度的(de)實時控(kòng)制。高溫(wēn)真空環(huan)境下的(de)長時間(jiān)連續準(zhun)确測量(liang),是一個(ge)行業難(nan)題,目前(qian)爲止還(hái)沒有發(fa)現這方(fang)面的實(shi)際應用(yòng)。 以藍寶(bao)石晶體(ti)生長爐(lú)爲例,藍(lán)寶石晶(jing)體生長(zhang)爐是一(yī)種用于(yú)藍寶石(shi)單晶生(sheng)長的常(chang)用設備(bei),通常包(bao)括坩埚(guō)、加熱器(qì)、金屬保(bǎo)溫瓶等(deng),加熱器(qì)通電以(yi)後,将在(zài)坩埚外(wài)部形成(cheng)溫度場(chang),溫度場(chǎng)對坩埚(guo)進行加(jiā)熱。泡生(shēng)法藍寶(bao)石單晶(jīng)聲場中(zhōng),加熱溫(wēn)度的變(bian)化對晶(jīng)體的生(sheng)長影響(xiǎng)很大,合(he)适的引(yǐn)晶溫度(dù)、合理的(de)降溫控(kòng)制程序(xù)都有利(li)于提高(gāo)晶體生(shēng)長質量(liàng),晶體生(sheng)長速率(lǜ)會随加(jia)熱溫度(du)的降低(dī)而快速(sù)增加。制(zhì)定适合(hé)晶體生(sheng)長的降(jiang)溫程序(xu),沒有一(yi)定的溫(wen)度測量(liang)技術做(zuo)參考,晶(jīng)體品質(zhì)很難保(bao)證。因此(ci),一般采(cǎi)用紅外(wai)測量技(jì)術做參(cān)考,晶體(tǐ)品質很(hěn)難保證(zheng)。因此,一(yī)般采用(yòng)紅外測(cè)溫儀測(ce)量坩埚(guō)的溫度(dù),以獲得(dé)較爲準(zhǔn)确的測(cè)量溫度(du)值。但是(shi),在藍寶(bǎo)石單晶(jīng)生長過(guò)程中,藍(lán)寶石單(dān)晶爐的(de)溫度較(jiao)高,;安保(bao)室晶體(tǐ)以及熱(rè)場的金(jin)屬揮發(fa)物容易(yì)凝結在(zai)溫度較(jiào)低的測(cè)溫玻璃(li)表面,遮(zhe)擋紅外(wai)測溫儀(yí)有效測(ce)量用光(guāng)波,使紅(hóng)外測溫(wen)儀讀數(shu)失真。爲(wèi)提高溫(wēn)度測量(liàng)的準确(què)性,目前(qián)通常采(cai)用少量(liàng)惰性氣(qi)體吹掃(sǎo)測溫玻(bo)璃法。
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