真空爐(lu)系統中的油擴散(sàn)泵是靠高速蒸汽(qi)射流來攜帶氣體(tǐ)以達到抽氣的目(mu)的，它工作在高真(zhen)空區域，其工作壓(ya)強範圍爲10-2～10-6pa。油蒸汽(qi)從傘形噴咀(如I級(jí)噴咀)以超音速噴(pen)出後，其速度逐漸(jiàn)增大，壓力及密度(du)逐漸降低。

    1．概述 油(you)擴散泵的工作原(yuán)理與水蒸汽噴射(she)泵相似，都是靠高(gao)速蒸汽射流來攜(xie)帶氣體以達到抽(chou)氣的目的，故有如(rú)水蒸汽噴射泵相(xiang)似的特點。不同點(dian)是擴散泵工作在(zai)高真空區域，其工(gong)作壓強範圍爲10-2～10-6pa。廣(guǎng)泛用于電子、化工(gong)、冶金、機械、石油及(jí)原子能等工業部(bu)門中。

    2．油擴散泵的(de)工作原理與結構(gòu)

    當油蒸汽從傘形(xíng)噴咀(如I級噴咀)以(yǐ)超音速噴出後，其(qi)速度逐漸增大，壓(ya)力及密度逐漸降(jiang)低，射流上邊的被(bei)抽氣體A因密度差(cha)要向蒸汽射流中(zhōng)擴散并被射流攜(xié)帶到水冷的泵壁(bi)處B，在B處，工作蒸汽(qì)大部分被冷凝成(cheng)油滴沿泵壁流回(hui)到油鍋中循環使(shi)用，而被抽氣體在(zai)B處堆積、壓縮，最後(hou)被下級射流攜帶(dài)走，以達到逐級壓(yā)縮，最後被前級泵(beng)抽走。