直(zhí)拉式單晶爐(lú)是采用直拉(la)法（M3）生産無位(wei)錯矽單晶的(de)重要設備，目(mù)前世界上80%以(yǐ)上的矽單晶(jing)錠的生産采(cǎi)用直拉式矽(xī)單晶爐"随着(zhe)集成電路産(chǎn)業的發展，對(duì)設備要求裝(zhuang)料量大于250kg,拉(lā)制矽單晶直(zhí)徑大于300mm(12英寸(cùn))，因此晶體的(de)生長時間長(zhǎng)，通常大于50h，對(dui)設備的穩定(dìng)性要求高，而(er)設備的結構(gou)是設備的基(jī)礎，其設備的(de)結構和穩定(dìng)性對整個晶(jing)體生長拉晶(jing)過程有重要(yào)的影響"直拉(la)式單晶爐結(jié)構的靜力分(fèn)析是整個結(jie)構分析的基(jī)礎。目前最常(chang)用也最有效(xiào)的結構分析(xi)方法就是仿(pang)真，通過模拟(ni)實際工作環(huán)境，了解可能(néng)出現的結構(gou)問題，從而進(jìn)行改進。而有(yǒu)限元等數值(zhí)分析理論與(yu)計算機結合(hé)，出現了一大(da)批可以進行(háng)各方面仿真(zhen)的大型軟件(jiàn)，它們爲設計(jì)階段進行模(mo)拟仿真提供(gong)軟件支持。在(zai)進行結構分(fèn)析和設計中(zhong)，很多時候需(xū)要具體部位(wèi)的宏觀載荷(hé)值"通過實驗(yan)的方法獲取(qu)的宏觀力較(jiao)爲準确，但在(zai)受到條件限(xiàn)制而無法通(tong)過實驗測出(chū)宏觀力時，往(wǎng)往根據材料(liao)力學方法，采(cai)用估算的方(fang)式，将載荷平(píng)均或按一定(ding)經驗分配來(lai)獲得近似結(jie)果，導緻誤差(chà)較大。本文通(tong)過仿真分析(xī)的方法對直(zhi)拉式單晶爐(lú)部件進行結(jie)構分析，采用(yòng)有限元法的(de)件分析獲得(dé)微觀的應力(lì)分布，根據微(wēi)觀應力與宏(hong)觀載荷間的(de)關系，從微觀(guan)應力理論上(shang)準确的計算(suan)出宏觀載荷(hé)"。

    直拉式單晶(jīng)爐的基本結(jié)構由機架和(he)爐室兩大部(bu)分組成，機架(jià)作爲設備的(de)主體支撐部(bu)分，其結構性(xing)能十分重要(yao)。本文以直拉(lā)式單晶爐爲(wei)研究對象，建(jiàn)立了機架部(bù)分的有限元(yuán)模型，采用軟(ruǎn)件對其進行(hang)靜力分析，同(tong)時利用該分(fèn)析結果和軟(ruan)件提供的強(qiáng)大後處理功(gōng)能，從微觀應(yīng)力分布中提(ti)取計算出底(dǐ)座下各墊鐵(tie)的宏觀載荷(hé)情況，對單晶(jīng)爐靜态特性(xìng)進行判定，爲(wei)改善其結構(gou)性能提供了(le)依據。