單晶(jīng)爐定義(yi)：

    單晶爐(lu)是一種(zhong)在惰性(xing)氣體（氮(dan)氣、氦氣(qi)爲主）環(huan)境中,用(yong)石墨加(jia)熱器将(jiang)多晶矽(xi)等多晶(jīng)材料熔(rong)化,用直(zhí)拉法生(shēng)長無錯(cuo)位單晶(jīng)的設備(bèi)。

    單晶爐(lu)的型号(hào)與命名(míng)：

    單晶爐(lú) 型号有(yǒu)兩種命(ming)名方式(shì)，一種爲(wèi)投料量(liàng)，一種爲(wèi)爐室直(zhí)徑。比如(rú)85爐，是指(zhi)主爐筒(tǒng)的直徑(jing)大小，120、150等(deng)型号是(shi)由裝料(liao)量來決(jue)定的

    技(ji)術要求(qiu)：

    1.單晶爐(lu)裝料量(liang)（單台機(jī)産能多(duō)少） 2. 能拉(lā)多長、幾(ji)寸的矽(xi)棒 3. 拉制(zhì)晶棒的(de)成品率(lü)是多少(shǎo)4拉出矽(xī)棒品質(zhì)（少子壽(shòu)命、電阻(zu)率、碳氧(yǎng)含量、位(wei)錯密度(du)） 5設備制(zhì)造工藝(yì)控制保(bǎo)證 6自動(dòng)化控制(zhì)程度 7設(shè)備主要(yao)關鍵部(bu)件的配(pei)置等 。

    1、穩(wěn)定的機(ji)架結構(gòu)設計，增(zēng)強了設(shè)備在晶(jīng)體生長(zhang)過程中(zhong)的抗振(zhen)動能力(li)。

    2、優化的(de)液壓提(tí)升機構(gou)确保副(fù)爐室提(ti)升和複(fú)位時的(de)運動平(píng)穩性。 

    3、與(yu)主機分(fèn)離的分(fen)水器設(shè)計，在減(jian)少冷卻(que)水振動(dòng)對晶體(ti)生長的(de)影響的(de)同時優(yōu)化了水(shui)路布局(jú)。 

    4、晶體和(hé)坩埚的(de)提升采(cai)用雙電(diàn)機結構(gou)，保證穩(wěn)定的低(di)生長速(su)度以及(ji)坩埚和(hé)籽晶的(de)快速定(dìng)位。 

    5、采用(yòng)無振動(dòng)的高性(xìng)能馬達(da)和低噪(zào)聲的減(jian)速器驅(qu)動晶體(tǐ)和坩埚(guo)上升，可(ke)提供穩(wěn)定的低(dī)生長速(sù)度。

    6、設備(bei)的真空(kong)條件和(hé)在真空(kōng)下的可(kě)控惰性(xing)氣體氣(qì)流使得(dé)熱區清(qīng)洗最佳(jia)化。氧化(huà)矽可以(yi)在不污(wū)染晶體(ti)和晶體(tǐ)驅動裝(zhuāng)置的條(tiáo)件下排(pai)除。  

    7、帶隔(ge)離閥的(de)副室可(kě)以在熱(rè)區保持(chi)工作溫(wēn)度的情(qíng)況下，取(qǔ)出長成(cheng)的晶體(tǐ)或者更(geng)換籽晶(jing)。 

    8、對惰性(xing)氣體流(liú)量和爐(lu)室壓力(li)高精度(du)的控制(zhì)能力，爲(wei)生長高(gao)品質單(dān)晶創造(zào)了條件(jian)。 

    9、爐蓋和(he)爐腔通(tong)過兩個(ge)提升裝(zhuang)置提升(sheng)，很方便(biàn)的轉向(xiàng)一邊快(kuai)捷地清(qīng)洗。

    10、熔化(hua)溫度通(tōng)過對加(jiā)熱器溫(wen)度的電(dian)控來維(wei)持和調(diao)節，加熱(re)電源采(cǎi)用直流(liu)供電提(ti)高了控(kong)制精度(du)。高品質(zhi)的加熱(rè)器溫度(du)測量傳(chuán)感器實(shi)現了精(jing)确的溫(wēn)度控制(zhì)。

    12、整個晶(jing)體生長(zhang)過程由(you)一個高(gāo)可靠的(de)可編程(chéng)計算機(jī)控制器(qì)（PCC）控制，包(bao)括抽真(zhēn)空、熔化(huà)、引晶縮(suo)頸、放肩(jian)、等經生(shēng)長和尾(wei)錐生長(zhǎng)，晶體生(sheng)長全過(guo)程可實(shí)現全自(zì)動（CCD）控制(zhì)：。

    13、帶有數(shu)據和報(bao)警過程(cheng)控制的(de)可視化(hua)軟件，存(cún)儲在計(ji)算機的(de)硬盤中(zhong)。

    單晶爐(lu) 在使用(yong)時，爐體(ti)處于高(gāo)溫工作(zuò)狀态，并(bing)要求各(ge)運動部(bù)件的運(yùn)動穩定(ding)可靠，精(jing)度高（尤(you)其是坩(gan)埚驅動(dong)裝置和(he)籽晶旋(xuán)轉及提(tí)升機構(gòu)），工作時(shi)間長。因(yīn)此，在使(shi)用過程(cheng)中，要注(zhù)意設備(bei)的維護(hù)與保養(yang)。 

    坩埚驅(qū)動裝置(zhi) 

    坩埚驅(qu)動裝置(zhì)要求的(de)運動精(jing)度比較(jiào)高，是設(shè)備的核(hé)心運動(dòng)部件，應(yīng)重點維(wei)護。坩埚(guo)軸是石(shí)墨坩埚(guō)的支撐(chēng)軸，應随(sui)時檢查(chá)其冷卻(què)水的情(qing)況，以免(miǎn)燒損。坩(gan)埚驅動(dong)采用滾(gǔn)珠絲杠(gàng)和直線(xiàn)導軌結(jie)構，是坩(gān)埚驅動(dong)的關鍵(jiàn)部件，需(xū)保持清(qing)潔，嚴禁(jìn)灰塵、雜(zá)物附着(zhe)，并定期(qī)塗抹潤(run)滑脂。

    籽(zǐ)晶旋轉(zhuǎn)及提升(sheng)機構的(de)維修 

    籽(zi)晶旋轉(zhuǎn)及提升(sheng)機構也(ye)是單晶(jīng)爐的關(guan)鍵部件(jian)，該部件(jian)運行的(de)好壞直(zhí)接影響(xiang)單晶的(de)生長。因(yin)此，也須(xu)重點維(wei)護。  卷輪(lún)箱是籽(zi)晶提升(shēng)的核心(xin)，卷輪箱(xiang)内的零(ling)件一般(ban)情況下(xià)不得随(suí)意拆除(chú)，必須拆(chāi)除時，重(zhong)新安裝(zhuāng)時必須(xū)保證軟(ruǎn)軸對中(zhōng)。軟軸鋼(gang)絲繩在(zai)使用中(zhōng)不準有(you)死彎現(xiàn)象，并在(zài)每次開(kāi)爐時檢(jiǎn)查鋼絲(sī)繩是否(fou)燒損，如(ru)有燒損(sun)應及時(shí)修整或(huo)更換新(xin)的鋼絲(sī)繩。

    其餘(yu)部件的(de)維修

    每(měi)次開單(dan)晶爐 前(qián)應檢查(cha)水路系(xi)統是否(fou)暢通，水(shuǐ)溫檢測(ce)傳感器(qi)安裝是(shì)否正常(chang)。發現有(yǒu)結垢時(shí)應及清(qīng)理。在拉(la)晶過程(cheng)中，若發(fa)現水壓(ya)報警或(huò)漏水時(shi)要及時(shí)采取措(cuo)施。  真空(kong)管道的(de)過濾網(wǎng)每爐要(yào)清理一(yī)次，抽氣(qì)管道每(mei)20～30爐清理(li)一次。