感應熔煉 的(de)步驟有用前(qián)檢查單晶爐(lú)、試用單晶爐(lú)、單晶爐正式(shi)工作、熔煉産(chan)品抽檢、調整(zheng)測試、使用單(dān)晶爐完成後(hou)安全斷電，這(zhè)些步驟都不(bu)可以省略。
    在(zài)感應熔煉之(zhī)前應當檢查(chá)好設備，看看(kàn)有沒有明顯(xian)損壞的零部(bù)件，然後根據(ju)說明書的要(yao)求來操作試(shì)用，如果經過(guo)試用工作正(zhèng)常，就可以開(kai)始正式生産(chǎn)了，但是生産(chǎn)的過程中也(yě)要不斷地檢(jiǎn)查下産品，看(kan)産品的某些(xiē)指标是否達(da)标，産品質量(liàng)是否合格，如(ru)果指标不達(dá)标、質量不合(hé)格就要調整(zheng)下機器，直到(dào)熔煉的産品(pǐn)的品質達到(dào)要求爲止。

    常(chang)見的單晶爐(lú)故障有晶棒(bàng)晃動，單晶爐(lu)晶棒晃動機(jī)器仍然可以(yǐ)正常運轉，但(dàn)是生産效率(lü)低，感應熔煉(lian)的産品質量(liang)差所以爲了(le)提高感應熔(róng)煉的效率和(he)質量，不能盲(mang)目的熔煉，一(yī)定要對單晶(jing)爐進行檢查(cha)。晶棒晃動要(yào)檢查一下提(tí)拉頭、冷卻系(xì)統和真空系(xì)統。如果是提(tí)拉頭出現問(wen)題，就要維修(xiū)調整下減速(su)機構或旋轉(zhuǎn)機構。如果是(shi)冷卻系統和(hé)真空系統出(chū)現問題，需要(yào)調整一下矽(xi)料和重錘結(jie)構。如果檢查(cha)這些地方沒(méi)有問題，看一(yi)下氩氣等惰(duò)性氣體是否(fou)在爐内流動(dong)，氩氣在爐内(nei)流動的話，就(jiù)需要改裝一(yi)下單晶爐了(le)，保證單晶爐(lú)熱場分布均(jun1)勻。
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