單(dān)晶爐定(ding)義：

    單晶(jīng)爐是一(yī)種在惰(duò)性氣體(ti)（氮氣、氦(hài)氣爲主(zhǔ)）環境中(zhōng),用石墨(mo)加熱器(qi)将多晶(jing)矽等多(duo)晶材料(liào)熔化,用(yong)直拉法(fa)生長無(wú)錯位單(dān)晶的設(shè)備。

    單晶(jīng)爐的型(xíng)号與命(mìng)名：

    單晶(jīng)爐 型号(hao)有兩種(zhǒng)命名方(fang)式，一種(zhong)爲投料(liào)量，一種(zhǒng)爲爐室(shì)直徑。比(bi)如85爐，是(shi)指主爐(lú)筒的直(zhí)徑大小(xiǎo)，120、150等型号(hào)是由裝(zhuang)料量來(lai)決定的(de)

    技術要(yao)求：

    1.單晶(jīng)爐裝料(liào)量（單台(tái)機産能(néng)多少） 2. 能(néng)拉多長(zhǎng)、幾寸的(de)矽棒 3. 拉(lā)制晶棒(bàng)的成品(pǐn)率是多(duō)少4拉出(chū)矽棒品(pǐn)質（少子(zi)壽命、電(dian)阻率、碳(tàn)氧含量(liàng)、位錯密(mi)度） 5設備(bèi)制造工(gōng)藝控制(zhì)保證 6自(zì)動化控(kong)制程度(du) 7設備主(zhǔ)要關鍵(jiàn)部件的(de)配置等(děng) 。

    1、穩定的(de)機架結(jie)構設計(jì)，增強了(le)設備在(zai)晶體生(shēng)長過程(cheng)中的抗(kàng)振動能(neng)力。

    2、優化(huà)的液壓(ya)提升機(jī)構确保(bǎo)副爐室(shì)提升和(he)複位時(shí)的運動(dong)平穩性(xing)。 

    3、與主機(jī)分離的(de)分水器(qi)設計，在(zai)減少冷(lěng)卻水振(zhen)動對晶(jīng)體生長(zhang)的影響(xiang)的同時(shi)優化了(le)水路布(bu)局。 

    4、晶體(tǐ)和坩埚(guo)的提升(sheng)采用雙(shuang)電機結(jié)構，保證(zheng)穩定的(de)低生長(zhǎng)速度以(yǐ)及坩埚(guō)和籽晶(jīng)的快速(sù)定位。 

    5、采(cai)用無振(zhèn)動的高(gāo)性能馬(mǎ)達和低(dī)噪聲的(de)減速器(qi)驅動晶(jing)體和坩(gān)埚上升(shēng)，可提供(gong)穩定的(de)低生長(zhǎng)速度。

    6、設(shè)備的真(zhēn)空條件(jian)和在真(zhēn)空下的(de)可控惰(duò)性氣體(tǐ)氣流使(shǐ)得熱區(qū)清洗最(zui)佳化。氧(yǎng)化矽可(kě)以在不(bú)污染晶(jing)體和晶(jīng)體驅動(dong)裝置的(de)條件下(xià)排除。  

    7、帶(dài)隔離閥(fá)的副室(shi)可以在(zai)熱區保(bǎo)持工作(zuò)溫度的(de)情況下(xià)，取出長(zhang)成的晶(jing)體或者(zhe)更換籽(zǐ)晶。 

    8、對惰(duò)性氣體(tǐ)流量和(hé)爐室壓(yā)力高精(jing)度的控(kong)制能力(lì)，爲生長(zhǎng)高品質(zhì)單晶創(chuàng)造了條(tiao)件。 

    9、爐蓋(gai)和爐腔(qiang)通過兩(liang)個提升(sheng)裝置提(tí)升，很方(fang)便的轉(zhuan)向一邊(biān)快捷地(dì)清洗。

    10、熔(rong)化溫度(dù)通過對(duì)加熱器(qi)溫度的(de)電控來(lai)維持和(he)調節，加(jia)熱電源(yuan)采用直(zhi)流供電(dian)提高了(le)控制精(jīng)度。高品(pǐn)質的加(jia)熱器溫(wēn)度測量(liàng)傳感器(qi)實現了(le)精确的(de)溫度控(kòng)制。

    12、整個(ge)晶體生(shēng)長過程(chéng)由一個(gè)高可靠(kào)的可編(bian)程計算(suàn)機控制(zhi)器（PCC）控制(zhi)，包括抽(chou)真空、熔(róng)化、引晶(jing)縮頸、放(fang)肩、等經(jing)生長和(he)尾錐生(sheng)長，晶體(tǐ)生長全(quan)過程可(ke)實現全(quan)自動（CCD）控(kong)制：。

    13、帶有(you)數據和(he)報警過(guo)程控制(zhì)的可視(shi)化軟件(jiàn)，存儲在(zài)計算機(ji)的硬盤(pan)中。

    單晶(jing)爐 在使(shi)用時，爐(lu)體處于(yu)高溫工(gong)作狀态(tai)，并要求(qiu)各運動(dòng)部件的(de)運動穩(wen)定可靠(kào)，精度高(gao)（尤其是(shì)坩埚驅(qu)動裝置(zhi)和籽晶(jing)旋轉及(jí)提升機(jī)構），工作(zuò)時間長(zhǎng)。因此，在(zai)使用過(guo)程中，要(yào)注意設(she)備的維(wei)護與保(bǎo)養。 

    坩埚(guō)驅動裝(zhuang)置 

    坩埚(guo)驅動裝(zhuang)置要求(qiú)的運動(dòng)精度比(bi)較高，是(shi)設備的(de)核心運(yùn)動部件(jiàn)，應重點(diǎn)維護。坩(gān)埚軸是(shì)石墨坩(gan)埚的支(zhī)撐軸，應(yīng)随時檢(jiǎn)查其冷(lěng)卻水的(de)情況，以(yǐ)免燒損(sun)。坩埚驅(qu)動采用(yong)滾珠絲(si)杠和直(zhi)線導軌(guǐ)結構，是(shi)坩埚驅(qū)動的關(guān)鍵部件(jian)，需保持(chí)清潔，嚴(yán)禁灰塵(chén)、雜物附(fù)着，并定(dìng)期塗抹(mo)潤滑脂(zhi)。

    籽晶旋(xuán)轉及提(tí)升機構(gou)的維修(xiu) 

    籽晶旋(xuán)轉及提(tí)升機構(gou)也是單(dan)晶爐的(de)關鍵部(bù)件，該部(bu)件運行(hang)的好壞(huai)直接影(ying)響單晶(jing)的生長(zhang)。因此，也(yě)須重點(dian)維護。  卷(juan)輪箱是(shi)籽晶提(tí)升的核(hé)心，卷輪(lun)箱内的(de)零件一(yi)般情況(kuàng)下不得(de)随意拆(chai)除，必須(xu)拆除時(shi)，重新安(an)裝時必(bi)須保證(zhèng)軟軸對(duì)中。軟軸(zhou)鋼絲繩(sheng)在使用(yòng)中不準(zhun)有死彎(wan)現象，并(bing)在每次(ci)開爐時(shi)檢查鋼(gang)絲繩是(shi)否燒損(sun)，如有燒(shao)損應及(jí)時修整(zheng)或更換(huàn)新的鋼(gāng)絲繩。

    其(qi)餘部件(jian)的維修(xiū)

    每次開(kāi)單晶爐(lu) 前應檢(jiǎn)查水路(lu)系統是(shì)否暢通(tong)，水溫檢(jian)測傳感(gǎn)器安裝(zhuang)是否正(zheng)常。發現(xiàn)有結垢(gòu)時應及(ji)清理。在(zài)拉晶過(guo)程中，若(ruò)發現水(shuǐ)壓報警(jǐng)或漏水(shui)時要及(jí)時采取(qǔ)措施。  真(zhen)空管道(dao)的過濾(lǜ)網每爐(lu)要清理(lǐ)一次，抽(chōu)氣管道(dao)每20～30爐清(qing)理一次(cì)。