現有(you)加熱電源存在(zài)的問題：

    盡管我(wǒ)國晶體生長設(she)備的自動化程(chéng)度有了很大提(ti)高，但是在常規(guī)的直拉法溫度(du)控制環節的設(shè)計上還存在以(yǐ)下問題：

    (1)加熱電(diàn)源的智能化程(chéng)度不高。純模拟(nǐ)電路構成，單閉(bi)環控制，自動化(huà)程度偏低，功率(lü)的調節常滞後(hòu)于系統對溫度(du)的實際要求。

    (2)溫(wēn)度需要手動調(diào)節。該設備在運(yùn)行過程當中不(bú)能完全做到無(wu)人值守，對于引(yǐn)徑、放肩及熔料(liao)過程的溫度控(kong)制還需要工作(zuo)人員通過電源(yuán)櫃的旋鈕手動(dòng)調節輸出值，等(děng)徑生長過程的(de)實際控溫精度(du)與理論值也有(you)差距，參數的設(she)置、調節和記錄(lu)均需要值守人(ren)員參與完成。

    單(dān)晶爐改進方案(àn)：

    裝置采用模塊(kuai)化設計，微機控(kòng)制，内置自适應(ying)能力較強的模(mo)糊PID控制算法，具(ju)有控制參數自(zì)動調節、顯示，可(kě)通過按鍵設定(ding)初值，系統異常(chang)可自動聲光告(gào)警等新功能，即(jí)從整體上提高(gāo)溫控系統的智(zhi)能化程度和控(kong)制精度，加快參(cān)數調節的響應(yīng)速度，使整個生(shēng)産過程中爐溫(wēn)的變化能快速(sù)平滑地跟随工(gong)藝曲線變化，裝(zhuāng)置通用性強，操(cao)作上更加簡單(dan)、可靠。

    單晶爐 主(zhu)要技術指标：

    單(dan)晶爐加熱電源(yuan)是一種大功率(lǜ)直流電源，要求(qiu)輸出功率lOOkW，輸出(chū)電壓爲0-5V可調，輸(shu)出電流爲0-3000A；其輸(shū)出的能量可直(zhí)接爲單晶爐内(nei)的石墨加熱器(qì)供熱，加熱溫度(dù)範圍爲o～2000℃，控溫精(jing)度要求達到±5℃；各(ge)種信号可自動(dòng)檢測、顯示，參數(shu)的修改和設定(dìng)可通過按鍵進(jìn)行，以此來滿足(zu)單晶矽在生長(zhǎng)階段對溫度的(de)嚴格要求。